Được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn và màng mỏng công nghiệp, máy phát điện Paramount HP 10013 xây dựng dựa trên các hệ thống phân phối điện hàng đầu của Advanced Energy cho các ứng dụng plasma, bao gồm khắc dẫn (conductor etch), khắc điện môi (dielectric etch), lắng đọng, phún xạ (sputtering) và cấy ion. Máy Paramount HP 10013 bổ sung khả năng công suất 10 kW cao hơn cho nền tảng Paramount 13,56 MHz, với khả năng cung cấp năng lượng xung cao với công suất trung bình thấp để có công suất xung lặp lại và chính xác. Công suất cao hơn làm tăng mật độ plasma và năng lượng ion cho phép quá trình khắc nhanh hơn, sâu hơn và quá trình lắng đọng nhanh hơn, giải quyết các yêu cầu đối với các thiết bị có tỷ lệ khung hình cao hàng đầu và các ứng dụng mới nổi.
Ông Peter Gillespie, Phó chủ tịch cấp cao Bộ phận sản phẩm bán dẫn và máy tính của Advanced Energy cho biết: “Với vi mạch (IC) hiện là một phần của hầu hết mọi sản phẩm trong tiêu dùng, giải trí, sản xuất, máy tính, giao thông vận tải và nhiều thị trường khác, lĩnh vực của chúng tôi đang phải đối mặt với nhiều ứng dụng cũng như thách thức đối với sức mạnh quy trình chính xác. Dòng sản phẩm Paramount của chúng tôi đã đi tiên phong trong tần số vô tuyến xung với bộ nguồn tần số vô tuyến kỹ thuật số, khả thi về mặt thương mại đầu tiên trong ngành. Bằng cách giới thiệu giải pháp công suất cao hơn, Advanced Energy cho phép khách hàng đổi mới trong việc tạo ra các kiến trúc ba chiều và vật liệu mới phức tạp hơn”.
Kiến trúc kỹ thuật số của nền tảng Paramount cung cấp khả năng quản lý điện năng chính xác và hợp lý hóa việc tích hợp chức năng mới mà không cần thay đổi phần cứng. Việc điều khiển kỹ thuật số hoàn toàn cung cấp khả năng phát hiện động, theo thời gian thực các thay đổi của plasma và mang lại đầu ra công suất cao với hiệu suất lặp lại. Giao diện kỹ thuật số cho phép đồng bộ hóa với các máy phát điện tần số vô tuyến khác và cung cấp kết nối liền mạch với dòng mạng kết hợp kỹ thuật số Navigator và Navigator II hàng đầu thị trường của Advanced Energy, cùng với nhau, giải pháp phân phối điện plasma được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành bán dẫn.
Để biết các thông số kỹ thuật chi tiết, hãy truy cập vào trang sản phẩm thuộc gia đình Paramount.
Thông tin về Advanced Energy
Advanced Energy (có cổ phiếu giao dịch tại Sàn giao dịch chứng khoán Nasdaq, New York, Mỹ, với mã : AEIS) là công ty hàng đầu thế giới trong việc thiết kế và sản xuất các giải pháp chuyển đổi điện năng, đo lường và điều khiển được thiết kế kỹ thuật cao, chính xác cho các ứng dụng và quy trình quan trọng. Các giải pháp năng lượng của AE cho phép khách hàng đổi mới trong các ứng dụng phức tạp cho nhiều ngành công nghiệp, bao gồm thiết bị bán dẫn, công nghiệp, sản xuất, viễn thông, điện toán trung tâm dữ liệu và chăm sóc sức khỏe.
Với bí quyết kỹ thuật và dịch vụ đáp ứng và hỗ trợ trên toàn cầu, công ty xây dựng quan hệ đối tác hợp tác để đáp ứng các tiến bộ công nghệ, thúc đẩy tăng trưởng cho khách hàng và đổi mới tương lai của điện năng. Có trụ sở chính tại Denver, bang Colorado (Mỹ), Advanced Energy đã cống hiến hơn ba thập kỷ để hoàn thiện năng lượng cho khách hàng toàn cầu. Để biết thêm thông tin, hãy truy cập www.advancedenergy.com.