Applied Materials hiện là nhà sản xuất công nghiệp phụ trợ lớn nhất thế giới về chế tạo chất bán dẫn. Những công cụ mới mà công ty này công bố trong ngày 8/9 được thiết kế dành cho các loại chip được làm từ vật liệu silicon carbide (SiC).
Chip SiC đang tạo ra sức hút lớn trong lĩnh vực sản xuất xe điện, như các xe do Tesla sản xuất, do chúng có trọng lượng nhẹ hơn và hiệu quả hơn so với chip silicon tiêu chuẩn trong việc truyền dẫn năng lượng từ pin đến động cơ của ô tô, giúp cải thiện phạm vi hoạt động.
Các chip SiC thường khó sản xuất do vật liệu này rất cứng. Theo quy trình, chúng được sản xuất hàng loạt trên những chiếc đĩa được gọi là "bánh xốp", để rồi sau đó công nhân chia nhỏ thành từng con chip riêng lẻ.
Tuy nhiên, những chiếc “bánh xốp” này cần phải được đánh bóng mịn một cách hoàn hảo, nếu không con chip sau này sẽ gặp khiếm khuyết. Bởi SiC là vật liệu rất cứng, nên các nhà sản xuất chip chỉ có thể đánh bóng một tấm “bánh xốp” tương đối nhỏ - rộng khoảng 150mm - để đảm bảo rằng chúng không bị lỗi ở đâu đó trên bề mặt.
Một trong số những công cụ mới “trình làng” của Applied Materials sẽ giúp các nhà sản xuất chip đánh bóng 1 tấm “bánh xốp” có chiều rộng 200mm. Sự gia tăng kích thước này có thể giúp các nhà sản xuất tăng gấp đôi sản lượng chip và giá thành của sản phẩm này theo đó cũng có thể giảm xuống.
Trong khi đó, công cụ mới còn lại có thể đưa một lượng nhỏ tạp chất hóa học vào tấm “bánh xốp” này. Đây được xem là bước quan trọng để cải thiện khả năng dẫn điện cho tất cả các chất bán dẫn. Tuy nhiên, quá trình này là khó thực hiện với SiC do độ giòn của vật liệu này.
